Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
ISBN | 978-5-9729-0337-5 |
Автор | Родионов Юрий Анатольевич |
Издательство | Инфра-Инженерия |
Год | 2019 |
Переплет | 7Б |
Формат | 60х84/16 |
Стр. | 352 |
ID | 04Л2-29 |
ID2 | 696791 |
У этого товара нет ни одного отзыва. Вы можете стать первым.